#2 : xEHM
机台健康管理系统
xEHM 是 EHM off-line 的分析工具，藉由 xEHM 看懂EHM 的 Raw Trace Data，再试着由 xEHM 的 Auto-window 工具适当地将 Raw Trace Data 切割成数个制程段落并对齐讯号，最后由 Auto-indicator 将特征值取出得以与 YMS 系统中其他数据源做关联分析或是建立模型。
半导体机台的EHM(Equipment Healthy Management)资料是最典型的BigData。每个机台每分钟都送出数以万计的数据，其数量之大累积速度之快绝对超乎想象。xEHM 就是为了将这些最原始、最细微的数据予以妥善运用使其能结合 SPC (Statistical Process Control, 统计制程管制)、APC (Advanced Process Control, 先进制程控制, 亦称 RtR)、YMS (Yield Management Solution,良率提升管理解决方案)、VM (Virtual Metrology,虚拟量测) 等方法，一条龙式满足工厂管理的需求，达到质量与产能提升的目的。
