#2 : xEHM
機台健康管理系統
xEHM 是 EHM off-line 的分析工具，藉由 xEHM 看懂EHM 的 Raw Trace Data，再試著由 xEHM 的 Auto-window 工具適當地將 Raw Trace Data 切割成數個製程段落並對齊訊號，最後由 Auto-indicator 將特徵值取出得以與 YMS 系統中其他資料源做關聯分析或是建立模型。
半導體機台的EHM(Equipment Healthy Management)資料是最典型的BigData。每個機台每分鐘都送出數以萬計的資料，其數量之大累積速度之快絕對超乎想像。xEHM 就是為了將這些最原始、最細微的資料予以妥善運用使其能結合 SPC (Statistical Process Control, 統計製程管制)、APC (Advanced Process Control, 先進製程控制, 亦稱 RtR)、YMS (Yield Management Solution,良率提昇管理解決方案)、VM (Virtual Metrology,虛擬量測) 等方法，一條龍式滿足工廠管理的需求，達到品質與產能提升的目的。
